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激光干涉儀 - 來寶百科

激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩頻氦氖激光為光源,構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。  詳情 >
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