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離子濺射儀 - 來寶百科

使用膜厚監控編輯1.打開總電源,打開氬氣開關(兩成保持在0.035Mpa左右,濺射時也要注意氬氣的流量)。2.按主機背面的開關按鈕,進入開機界面,根據提示進行下面一系列的操作。3.接下來儀器就開始自動洗靶,自動濺射,濺射結束后要稍等片刻,然后按stop放氣。待放氣操作完成后,開蓋,取出樣品。4.Target B type操作同上。不使用膜厚監控編輯1.其余操作步驟同上,但要根據自己的需要設置濺射電流和濺射時間(最長時間是4min),和循環次數(最多循環9次),按上下鍵設置時間。2.接下來儀器就開始自動洗靶,自動濺射,濺射結束后要稍等片刻,…  詳情 >
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